NNxyz-6mm-o-LT-compact由两组NNx-6mm-o-LT组合而成和一组NNz-6mm-o-LT组成，设计更加紧凑，在三维毫米行程方位内提供纳米级精度定位。NNxyz-6mm-o-LT的底座和样品载物台通过超软铜带连接，保证低温恒温温度到样品的快速和高效传导，主要性能参数：

- 3轴线性运动

- 直线运动行程： 6 mm（x,y,z）

- 定位精度：50 nm (开环)，100 nm （闭环）

- 运动速度： 最大1 mm/s (室温)，0.5 mm/s (4K)

- 工作温度： 2K ~ 350 K

- 真空： > 10-8 mBar

- 磁场： > 7 T

- 负载：> 300 g

视频1：低温下z轴运动精确调节激光在样品上的聚焦状态

视频2：z轴调节成像清晰度